r-terpinene 不旋松油精
radial brick 辐形砖
radial temperature uniformity 径向温度均一性
radiant arc furnace 辐射电弧炉
radical 基
Radio frequency linac accelerator 高频线性加速器
Radio frequency lines accelerator 高频线性加速器
radio frequency quadrapole accelerator 高频四重极加速器
radio frequency workcoil 高频工作线圈
radio-frequency heating 射频加热
radition shield 辐射屏障
ram 撞鎚
ramming material 鎚结料
ramp rate 升降温速度/斜坡率
ramp up 倾斜升温，每单位时间之温度上升
ramp voltage test 斜坡电压测试
rank marking 按等级标印
rapid cooling system 急冷系统
rapid mixing chamber 快速混合槽
rapid sand filter 快速砂砾过滤器
rapid thermal process 快速热处理
rapid-hardening Portland cement 快硬[卜特兰] 水泥
rare earths 稀土
Raschig ring 拉西环
rate 比率
rated output power of ultrasonic generator 超音波产生器额定输出
ratio of crucible shaft driving speed 坩埚轴驱动速度比率
rational analysis 示性分析
raw glaze 生料釉
raw material 原料
RC parameter extractionRC  参数萃取
RCA cleaning methodRCA 洗条法
reaction chamber/ reactor 反应室/反应器
reaction tube 反应管
reactive ion beam etching system/RIBE system 反应性离子束蚀刻系统
reactive ion etching system/RIE system 反应性离子蚀刻系统/RIE 系统
reactive sputter etching system 反应性溅镀蚀刻系统
reactive sputtering system 反应性溅镀系统
real chip simulator 实际晶片模拟器
Real Time timing control 及时定时控制
real-time redundancy judgement function 即时冗余判断功能
ream 斑纹
reboil 再沸
receiver 接受匣盒
recharge CZ method 再补充CZ  法
recipe 处理程式　
reclaim 再生
reclaim wafer 回收晶圆
recognition rate 识别率
reconfigurable logic 可从构逻辑
rectangular kiln 长方窑
recuperator 复热器
red clay 红黏土
reduced instruction set computer（RISC） 精简指令集电脑
reduced pressure controller 减压控制器
reduced pressure method 减压法
reduced pressure vapor phase epitaxial growth system 减压汽相磊晶生长系统
reduced presure vapor phase epitaxial growth system 减压汽相磊晶生长系统
reducing atomosphere 还原蒙气
redundancy analyzer 冗余分析仪
redundancy function 多余功能，冗余功能
redundant memory repair system 冗余记忆器检修系统
reel 卷筒
reference plane 基准面
reference source 基准信号电源
refining 净化
refining speed 精练速度
reflection high energy electron diffraction method 反射高能电子绕射法
reflow 圆滑热处理，平坦化热处理技术 　
refractoriness 耐火性；耐火度
refractoriness underload 载重耐火度　
refractory coating 耐火涂料
refractory concrete 耐火混凝土
refractory material 耐火材料
refreactory cement 耐火水泥
refresh function 刷新功能；再生功能
regenerator 蓄热器
register transfer level description 暂存器传送位阶记述
register transfer level floor plan 暂存器传送层级平面图
register transfer level sign offRTL（ 暂存器传送位阶）签字保证
registration accuracy 重合精确度
reheat test 再热试验
reinforced brickwork 加强砖工
relative humidity 相对湿度
relieving arch 肋拱
remaining gate 残留闸门
remaining resin 残留树脂
remaining tie bar 残留脚端联结杆
repressing 再压
residual air 残留空气
residual chlorine meter 残留氯气测试计
residual clay 残余黏土
resin cutting 树脂切割
resinoid grinding wheel 熟化树脂研磨轮
resist ashing system 抗转剂灰化系统
resist curing system 抗蚀剂熟化系统
resist ozone asher 抗蚀剂臭氧灰化机
resist plasma ashing system 等离子体抗蚀剂灰化系统
resist processing equipment 抗蚀剂处理设备
resist stripper 抗蚀剂剥离液
resist stripping system 抗蚀剂剥离系统
resist temperature control 抗蚀剂温度控制
resist thermal stability 抗蚀剂热稳定性
resist thickness uniformity 抗蚀剂膜厚均质性
resistance heading furnace 电阻加热炉
resistance heating element 电阻加热元件
resistance heating evaporation system 电阻加热真控蒸镀系统
resistance heating method 电阻加热法　
resistivity 电阻系数
resolution 解析度，析像清晰度
resolving aperture 监别孔隙
retarder 阻凑剂
reticle alignment 标线片对准
reticle blind 标线片遮帘
reticle holder 标线片固定器
reticle loader 标线片搭载器
reticle rotation error 标线旋转误差
reticle stage 标线片载物台
reusable design 再利用设计
reverse bonding 逆向接合，逆向压接
reverse motion 反向动作
reverse synthesis 逆向合成
revolution mark 旋转标痕
revolution speed set up time 旋转速度建立时间
revolver gress 旋压机
revolving pot 迥转罐
revolving screen 迥转筛
RF diode sptuttering system 高频二极管溅镀系统
RF electrode 高频施加电极
RF generator 高频产生器`
RF plasma enhanced CVD system 高频等离子体增强CVD 系统
rheology 流变学
rib 肋骨;加肋,加强筋
ribbed roof 助顶
rider brick 鞍砖；鞍拱
ridge 隆起物
ridge tile 脊瓦
ring 浮圈(玻)；环(玻)；匣钵圈(陶)
ring blade 环形刀片
rise 拱高
robot for using in vacuum 真空机械人
robotic transporter 机械人输送机
rock crystal 水晶
rock wool 岩绒
rocket nozzle 火箭喷嘴
Rockwell hardness 洛氏硬度
rod mill 杆磨
roll crusher 辊碎机(从化工)
rolled glass 辊制玻璃
roller 滚筒，山刷滚轮
roller-bat machine 辊片机
roller-head machine 辊头旋坯机
ROM test data memoryROM 测试数据记忆器
roman cement 罗马水泥
Roman tile 罗马瓦
roofing tile 屋瓦 　
rotary and revolutionary jig 自转公转夹具
rotary disk feeder 旋盘饲料机
rotary head bonder 旋转压接头接合机
rotary kiln 旋窑
rotary screen 旋筛
rotary smelter 旋转熔炼炉
rotary-hearth kiln 转床窑
rotating ingot slicing machine 晶锭旋转切割机
rotating speed 转盘旋转速度
rotation speed 自旋马达之回转数
rotational implant 旋转式〈离子〉植入
rotor turn table 转子转盘
rouge 铁红
rouge flambe 祭红釉
rough-cast 辊花玻璃
round kiln 圆窑
rowlock 立砌法
royal blue 宝蓝
RTA  (Rapid Thermal Annealing)快速退火炉
rubber 橡胶
r rubbing block 磨擦石
ruby glass 金红玻璃
run out 产生误差
runner 熔流道；横浇道
runner brick 浇道砖
runner stop 树脂流道口堵塞物
rust-spotting 锈斑
rustic brick 粗面砖
Rutherford backscattering method 卢瑟福後向散射法
rutile 金红石